Варианты решения:
1) Скачайте и установите последнюю версию HiAsm [burl=http://forum.hiasm.com/forum.html?q=3&t=55630]Ночные сборки[/burl]
2) Запускайте HiAsm с правами администратора.
3) Проверьте есть ли доступ на запись в папку Temp.